椭偏显微镜

Accurion EP4 椭偏显微镜

用途：多层薄膜的厚度和光学常数（n、k值）测量

• 横向分辨率（x/y方向）小至1微米，薄膜厚度测量精度0.1纳米。

• 选区测量功能：实现微结构试样和微小试样的选区椭偏测量

• 全显微镜视场直接成像，取代传统单点测量

• 光斑切割技术，真正实现超薄透明；基底上薄膜的无背底反射椭偏测量

• 多种技术联用，如：原子力显微镜（AFM），

        表面等离子共振(SPR)，反射光谱(RefSpec)，

        拉曼光谱仪(RamanSpec)，石英晶体微天平（QCM)，

        白光干涉仪（WLI）和LB槽/膜天平等

Accurion EP4 椭偏显微镜

用途：多层薄膜的厚度和光学常数（n、k值）测量

• 横向分辨率（x/y方向）小至1微米，薄膜厚度测量精度0.1纳米。

• 选区测量功能：实现微结构试样和微小试样的选区椭偏测量

• 全显微镜视场直接成像，取代传统单点测量

• 光斑切割技术，真正实现超薄透明；基底上薄膜的无背底反射椭偏测量

• 多种技术联用，如：原子力显微镜（AFM），

        表面等离子共振(SPR)，反射光谱(RefSpec)，

        拉曼光谱仪(RamanSpec)，石英晶体微天平（QCM)，

        白光干涉仪（WLI）和LB槽/膜天平等