参考光谱椭偏仪薄膜和表面的快速检测

Accurion RSE光谱型参比椭偏仪

光谱型参比椭偏仪（RSE）, 设计用于质量控制中的高速厚度mapping。它可以精准测量0.1 nm至10µm的厚度。每秒记录200个完整的光谱，可以在12分钟内研究100mmx 100mm的区域，并同时获得67000个光谱。

RSE是一种特殊类型的椭偏仪，它通过将参考样品和被测样品进行比较，测量它们之间的差异从而对被测样品进行椭偏分析。在测量过程中没有任何需要转动或者调制的光学部件，并且可以在单次测量中获得完整的、高分辨率的光谱椭偏数据。通常可每秒采集200个光谱椭偏数据。通过配备同步的X/Y二维自动样品台可以在数分钟内测量获得大面积样品的薄膜厚度分布图。 由于参考补偿系统仍然是椭偏仪原理，因此需要将测量数据拟合到光学模型，以获得光学参数，如折射率和薄膜厚度。为了实现高速的数据处理速度，实现了查找表拟合。在测量之前，将计算一个查找表。然后可以实时且高分辨率地拟合测量数据。

主要功能：

• “单次"参比光谱椭偏测量

• 每秒200个全光谱椭偏数据

• 用于评估薄膜厚度的实时数据处理

• 光斑尺寸：50 x 100um（入射角=60°）的微光斑

• 薄膜厚度测量范围：<1nm~10um

• 光谱范围：450–900 nm

应用：

• 晶圆检测

• 污染物检测

• 超薄膜和中间层的厚度

• 透明基板上的薄层

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