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⾃从⾼分辨率测量和制造技术达到纳⽶尺度以来，振动就⼀直是⼀个重要问题。有效消除振动⼲扰是获得精确和可重复测量结果的关键。主动隔振的基本原理是通过产⽣反作⽤⼒对⼲扰振动进⾏主动补偿。
⾃从⾼分辨率测量和制造技术达到纳⽶尺度以来，振动就⼀直是⼀个重要问题。有效消除振动⼲扰是获得精确和可重复测量结果的关键。主动隔振的基本原理是通过产⽣反作⽤⼒对⼲扰振动进⾏主动补偿。
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