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详细介绍
| 品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 生物产业,石油,电子/电池,制药/生物制药,综合 |
|---|---|---|---|
| 隔振技术 | 压电主动式 | 主动隔振范围 | 1–200 Hz（0.5 Hz 配 LFS） |
| 被动隔振范围 | 200 Hz 以上 | 隔振自由度 | 6 |
| 系统噪声 | < 50 nG/√Hz | 电源需求$ | 90–125 / 200–250 VAC，50–60 Hz$ |
AVI-400 主动减振台 是面向电子显微镜及大型精密研究仪器的模块化低剖面主动隔振平台，适用于 SEM、TEM、UHV-SPM、光刻设备、高精度计量与光谱仪器等低频振动敏感场景。系统采用压电传感器、压电致动器与控制电子单元，覆盖六个自由度振动隔离；标准主动隔振范围为 1 至 200 Hz，200 Hz 以上由机械结构进行被动衰减，搭配 LFS-3 可将低频隔振能力延伸至 0.5 Hz。平台提供 AVI-400S、AVI-400M、AVI-400XL 三种标准规格，标准双隔振器配置承载约 636 至 909 kg，并可通过多隔振器方案支持更高载荷。
平台提供三种标准尺寸（AVI-400S、AVI-400M、AVI-400XL），覆盖从紧凑型仪器到大型设备的安装需求。通过增加隔振器数量（如四隔振器配置），可支持更高载荷和更大尺寸的定制方案。
AVI-400 主动减振台采用压电传感器与致动器组成的闭环主动控制系统：高灵敏度压电传感器实时检测平台在六个自由度（X/Y/Z 平移 + 绕三轴旋转）上的振动加速度，控制器在毫秒级时间内计算出反向补偿信号，驱动压电致动器产生等幅反向的抵消力，从而主动抑制环境振动向仪器的传递。
该技术的关键性能指标：
主动隔振范围：1–200 Hz（搭配 LFS 低频传感器系统可延伸至 0.5 Hz）
被动隔振范围：大于 200 Hz（通过机械结构固有特性衰减）
振动传递率：10 Hz 以上低于 0.017（即衰减大于 98%）
系统本底噪声：低于 50 nG/√Hz
AVI-400 在低频段（1–10 Hz）的表现尤为突出：传统被动式气浮平台在低频段因固有频率限制而难以有效衰减振动（被动隔振有效区域从固有频率的 √2 倍开始），而 AVI-400 的主动控制系统可以从 1 Hz 开始即提供有效隔振，搭配 LFS 系统可进一步延伸至 0.5 Hz，有效弥补了被动隔振方案在低频段的不足。
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 系统结构 | 分体式隔振单元与控制器 |
| 主动控制范围 | 约 1.0 至 200 Hz |
| 被动控制范围 | 约 200 Hz 以上 |
| 承载能力 | 最高 800 kg，需均匀载荷且低重心 |
| 控制器尺寸 | 241 × 287 × 142 mm |
| 输入电压 | 90 至 125 VAC 或 200 至 250 VAC，50 至 60 Hz |
| 功耗 | 典型 18 W |
| 使用温度 | 5 至 40 ℃ |
| 相对湿度 | 10 至 90%，5 至 30 ℃；10 至 60%，30 至 40 ℃ |
| 使用环境 | 仅限室内使用 |
| 监测功能 | 可输出隔振前后振动监测信号，LED 显示过载状态 |
| 型号 | 单个隔振单元尺寸 | 单个隔振单元重量 |
|---|---|---|
| AVI-400S/LP | 190 × 396 × 112.5 mm | 约 15 kg |
| AVI-400M/LP | 190 × 720 × 112.5 mm | 约 20 kg |
| AVI-400XL/LP | 230 × 856 × 112.5 mm | 约 24 kg |
注：请联系厂商了解定制方案。
扫描电子显微镜（SEM）
透射电子显微镜（TEM）
聚焦离子束系统（FIB）
光刻设备
高精度三坐标测量机（CMM）
激光干涉仪系统
| 频率（Hz） | 无隔振（dB） | AVI-400 隔振后（dB） | 衰减量（dB） |
|---|---|---|---|
| 2 | 参考 | 参考 - 20 | 大于 20 |
| 5 | 参考 | 参考 - 35 | 大于 35 |
| 10 | 参考 | 参考 - 40 | 大于 40 |
| 20 | 参考 | 参考 - 50 | 大于 50 |
| 50 | 参考 | 参考 - 55 | 大于 55 |
图: Hitachi S-4800 SEM 搭配 AVI-400 主动隔振平台
LFS（Low Frequency Sensor）系统是 AVI-400 的可选升级模块，可将主动隔振范围从 1 Hz 向下延伸至 0.5 Hz，进一步抑制极低频段（0.5–1 Hz）的环境振动。该模块通过更高灵敏度的低频传感器替代标准传感器，适用于对亚赫兹级振动特别敏感的应用场景（如超高分辨率 TEM、原子级成像等）。LFS 系统与 AVI-400 控制器直接集成，安装简便。
注：更多信息，请联系我们了解定制方案。
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