防腐蚀隔膜真空泵所有与气体接触部分，均为聚四氟乙烯(PTFE)材料，通常被用于工况环境较为恶劣、腐蚀性较强的应用中。
维护的措施有哪些？
1、尽量放置在通风良好的环境下使用，如直接抽吸高温的气体建议使用冷凝装置。
2、维修前要断开电源，以免造成事故。松开压力阀，放出泵体内的气体。拔掉胶管。卸下压力表，记住压力表的安放位置，卸下四通阀。
3、拧下泵头处的6个内六角螺丝，打开气室，留存好螺丝。气室的反面的凹槽内有密封圈，如果密封圈已经破损，请丢弃。气室内有过滤棉，如果脏了请丢弃。
4、气室下方是圆形的膜腔，拔出膜腔。检查阀片是否老化破损，如果破损了或者过脏，请进行更换或者清理。只需拧下螺丝即可。膜腔下方为黑色的膜片，用小压盖固定住。拧开小压盖上的三个螺丝，留存好螺丝，取下压盖，肉眼观察膜片是否破损，如有破损或者老化严重，请进行替换。
5、如果需要，用水剂的溶剂清洗泵头或者用高压气体吹走脏物。不要使用有机化合物，酸类，腐蚀性的溶剂清洗，也不要润滑任何部位，否则会减少隔膜真空泵的使用寿命，仅仅使用水系的溶剂。
6、维修前要断开电源，如果电机无法运转，或者其在压力下开始运转缓慢，关掉开关，断开电源。确保供给电源与铭牌上所示电源一致。如果隔膜真空泵噪音过大，应立即停止运转，进行维修。
